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    Product laser

    產品中心
    OLED陣列激光修復設備
    產品簡介
    利用激光技術對陣列線路中O/S缺陷進行修復,改善OLED屏幕后期的亮/暗點線等問題,極大提升產品良率。
    產品特點

    支持G6代OLED TFT基板

    兼容性好,支持OLED制程中所有膜層材料修復(P-Si/Mo/Ti /Al/ITO/Ag等)

    選配靈活,可根據客戶制程技術任意配置

    修復成功率≥99.9%

    精密的光路控制系統,高精度對位及定位精度

    對接CIM系統,智能化/閉環反饋

    應用領域
    OLED制造
    技術指標
    設備尺寸 4100mm(L)x3600mm(W) x3400mm(H)
    設備環境(潔凈度) 低于100級
    玻璃基板尺寸 支持G4.5/G6代
    激光輸出穩定性 ≤ 2%,RMS
    平臺精度 重復定位精度≤ ±1μm;定位精度<±3μm
    薄膜類型 P-Si,Mo,Ti /Al/ Ti,ITO/Ag/ITO 等
    設備產能 循環周期:≤60s&帶頂升機構
    應用案例